激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等。它既可以對幾十米的大量程進行精密測量，也可以對手表零件等微小運動進行精密測量，既可以對幾何量如長度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。
激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外，配上適當?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等。
(1)接受信號為交流信號，前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器，不用直流放大，故沒有零點漂移等問題。
(2)利用多普勒效應(yīng)，計數(shù)器計頻率差的變化，不受激光強度和磁場變化的影響。在光強度衰減90%時仍可得到滿意的信號，這對于遠距離測量是十分重要的，同時在近距離測量時又能簡化調(diào)整工作。
(3)測量精度不受空氣湍流的影響，無需預(yù)熱時間。
用激光干涉儀作為機床的測量系統(tǒng)可以提高機床的精度和效率。起初僅用于高精度的磨床、鏜床和坐標測量機上，以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。但由于在一般機床上使用感應(yīng)同步器和光柵一般能達到精度要求，而激光儀器的抗振性和抗環(huán)境的干擾性能差，且價格較貴，目前在機械加工現(xiàn)場使用較少。
更新時間：2021-05-24
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三坐標測量儀