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SuperViewW光學(xué)三維表面輪廓形貌儀能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。

SJ5800零件表面大范圍曲面粗糙度輪廓測量儀采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量，尤其是大范圍曲面、斜面進(jìn)行粗糙度及輪廓尺寸一次性檢測。

SuperViewW光學(xué)表面三維形貌輪廓測量儀以白光干涉技術(shù)原理，用于對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量。通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

中圖儀器SJ5800廣東表面粗糙度輪廓儀是一款能實現(xiàn)對軸承及工件表面粗糙度和輪廓的高精度測量和分析的檢測儀器?？梢詫α慵砻娴妮喞?、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量，尤其是大范圍曲面、斜面進(jìn)行粗糙度及輪廓尺寸一次性檢測，如圓弧面和球面、異型曲面進(jìn)行多種粗糙度參數(shù)（如Ra、Rz等）、微觀輪廓度Pt、波紋度參數(shù)的測量。如分別對發(fā)動機關(guān)鍵零部件節(jié)溫器內(nèi)筒、氣門搖臂及凸輪軸進(jìn)行高精度輪廓參數(shù)檢測。

中圖光學(xué)3D表面形貌輪廓儀SuperViewW1基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器SJ5800表面粗糙度輪廓形狀測量儀采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量。