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CEM3000系列桌面式多功能實時能譜掃描電鏡高易用性快速成像、一鍵成片，無需過多人工調節(jié)。超高分辨率優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE)@20kV，超大景深毫米級別景深，具有高空間分辨率。

NS系列薄膜臺階測厚儀應用場景適應性強，其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求，可測量沉積薄膜的臺階高度、抗蝕劑（軟膜材料）的臺階高度等。

CEM3000系列中圖儀器高分辨率掃描電鏡操作系統(tǒng)簡便，使用過程簡單快捷。樣品一鍵裝入，自動導航和一鍵出圖能力（自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度）幫助用戶在短短幾十秒內就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。

CEM3000簡單易操作超高分辨率掃描電鏡外型緊湊，空間適用性強，整機采用大量的抗干擾設計，避免使用環(huán)境造成的影響，拓寬了應用范圍。同時，該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調節(jié)功能，能夠對不同類型的樣品進行觀測，具有高空間分辨率。

VT6000系列3D共聚焦顯微系統(tǒng)主要應用于半導體、光學膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測中。

SuperViewW白光干涉非接觸式粗糙度儀以白光干涉技術為原理，用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。